臭氧老化试验箱的主要工艺有核辐射法、电解法、紫外光、等离子体及电晕放电法等。应用较多的是在臭氧发生器中放电氧化空气或纯氧生成臭氧。也就是在空气中采用高能量交互电流将氧分子电离，形成臭氧。臭氧老化试验箱利用紫外光辐射或暴晒，可以自然地由双原子氧形成臭氧。在工业上，采用5-25kv交流电压，在干燥空气或氧气条件下实现了静放电限值。另外，在低温条件下电解稀硫酸或对液体氧进行加热都能产生臭氧。
诺达电子ND系列在线式臭氧探头，可以实时监测臭氧老化箱中臭氧含量。带信号输出。